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光学式ウェーハ外観検査装置の製品一覧

光(レーザを含む)によりパターン付ウェーハの異物、クラック、パターン欠陥などを検査、検出する装置。

loT向け電子デバイスに対応したパターン付きウェーハ外観検査装置

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ハイスピード、ハイコストパフォーマンスを追求。パターン付きウェーハ外観検査装置

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ENTRON N300(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
株式会社 アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置

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 実験用小型スパッタリング装置CS-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み」、「大気搬送」、「真空搬送」、「スパッタ室」の各モジュールの自由な…

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ロードロック式スパッタリング装置CS-200は、研究開発から小規模生産まで対応のロードロック式スパッタリング装置です。

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コンパクトスパッタACS-4000は、多層膜や化合物薄膜の研究開発用途として、パソコンによるプロセス自動化と4インチ基板対応を可能にしました。

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プロセス室を複数搭載可能(最大3室の200E、最大5室の200J、および最大7室の200)なマルチチャンバ型のスパッタリング装置です。

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光学膜用スパッタリング装置 ULDiSシリーズは、メタモードの技術を進化させたデジタルスパッタ装置で、より高品位の光学膜を実現します。米国JDS…

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 バッチ式スパッタリング装置SXシリーズは、各種電子部品等の多目的実験から小・中規模生産まで幅広いニーズに対応可能なスパッタリング装置で…

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バッチ式スパッタリング装置

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