キュア装置の製品一覧

熱や光によりイオン注入後の結晶修復、薄膜の膜質改善を行うための装置。

プラズマリフロー装置

神港精機株式会社

同社独自技術で開発

詳細を確認する

EAC型

株式会社荏原製作所

本装置は、半導体ウェーハの端面であるベベル部分やその周辺のエッジ部分、またウェーハ裏面部分を研磨することによって欠陥を除去する装置です…

詳細を確認する
全 2 件中 1 ~ 2 件を表示中
表示件数: