キュア装置の製品一覧
プラズマリフロー装置
神港精機株式会社
同社独自技術で開発
EAC型
株式会社荏原製作所
本装置は、半導体ウェーハの端面であるベベル部分やその周辺のエッジ部分、またウェーハ裏面部分を研磨することによって欠陥を除去する装置です…
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株式会社 荏原製作所
産業機械メーカである荏原は、Core Competenceを技術力と捉えています。製品のみならず、生産、品質管理や納入後の改造・メンテナンスまでのあら…
神港精機 株式会社
半導体や精密電子部品などの先端技術を支えるキーテクノロジーである「真空技術」(Vacuum Technology)を応用した製造装置及びコンポーネントのメ…
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