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キュア装置の製品一覧

熱や光によりイオン注入後の結晶修復、薄膜の膜質改善を行うための装置。

本装置は、半導体ウェーハの端面であるベベル部分やその周辺のエッジ部分、またウェーハ裏面部分を研磨することによって欠陥を除去する装置です…

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