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絶縁膜用装置の製品一覧

SiO2などの絶縁膜(薄膜)をエッチングする装置。

ICPエッチング装置 RIE-400iPC(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
株式会社 サムコ

小径ウエハ専用カセット装置

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PlasmaPro100ALE(Oxford Instruments社製)(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
株式会社 アルバック

原子スケールの高精度エッチングが可能な装置

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Primo Nanova

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

1Xnm以下のロジックおよびメモリデバイスのエッチング応用に革新的なソリューションを提供する最先端エッチング装置

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Primo SSC AD-RIE

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

シングルリアクションスタンド誘電体エッチング製品。1つのプラットフォームに6つのシングルリアクションスタンドを統合することにより、生産能…

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Primo AD-RIE

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

40~7nmのチップ製造に革新的なエッチングソリューションを提供する

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Primo D-RIE

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

6~16nmのチップ製造に革新的なエッチングソリューションを提供する

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