絶縁膜用装置の製品一覧
Primo Nanova
Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)
1Xnm以下のロジックおよびメモリデバイスのエッチング応用に革新的なソリューションを提供する最先端エッチング装置
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Primo SSC AD-RIE
Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)
シングルリアクションスタンド誘電体エッチング製品。1つのプラットフォームに6つのシングルリアクションスタンドを統合することにより、生産能…
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Primo AD-RIE
Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)
40~7nmのチップ製造に革新的なエッチングソリューションを提供する
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Primo D-RIE
Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)
6~16nmのチップ製造に革新的なエッチングソリューションを提供する
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関連用語
関連特集
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「絶縁膜用装置」の関連企業一覧
Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)
LED向けMOCVD装置分野でシェアが拡大し、プラズマエッチング装置に参入した。TSMC、UMC、SMICなど大手ファンドリ向けで実績を残している。
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