製品で絞り込む

絶縁膜用装置の製品一覧

SiO2などの絶縁膜(薄膜)をエッチングする装置。

ICPエッチング装置 RIE-400iPC(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
株式会社サムコ

小径ウエハ専用カセット装置

詳細を確認する

PlasmaPro100ALE Oxford Instruments

株式会社アルバック

原子スケールの高精度エッチングが可能な装置

詳細を確認する

FLEXシリーズ

Lam Research

重要絶縁膜エッチ工程のために差別化された技術とアプリケーションを提供する装置

詳細を確認する

Primo Nanova

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

1Xnm以下のロジックおよびメモリデバイスのエッチング応用に革新的なソリューションを提供する最先端エッチング装置

詳細を確認する

最初のSSCAD-RIE

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

シングルリアクションスタンド誘電体エッチング製品。1つのプラットフォームに6つのシングルリアクションスタンドを統合することにより、生産能…

詳細を確認する

最初のAD-RIE

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

40~7nmのチップ製造に革新的なエッチングソリューションを提供する

詳細を確認する

最初のD-RIE

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

6~16nmのチップ製造に革新的なエッチングソリューションを提供する

詳細を確認する
全 7 件中 1 ~ 7 件を表示中
表示件数: