ドライエッチング装置:市場は急拡大、上位3社の寡占化進む

掲載日 2021/06/04

1.絶縁膜用装置需要が市場をリード

　半導体企業の活発な設備投資に対応して、ドライエッチング装置市場も後述のように2020年に大きく拡大した。特に3D NAND型フラッシュメモリの多層化が進んでいることにより、層間接続用ホール形成用途を中心としたメモリ向け絶縁膜用装置が大きく成長した。また、ファンドリなどのロジック分野でも配線の多層化に伴う絶縁膜用装置の拡大、ゲート部分などの微細構造の精密加工に対応するためのコンダクタエッチング装置の需要増に伴い売上を伸ばした。
　ドライエッチング装置市場は、2019年には他装置と同様に売上高を落としたが、2020年には前年比17％増の1兆2,998億円に拡大した。2020年は年前半にメモリ向けでやや回復ペースが鈍ったが、年後半にはメモリ向け需要が急速に回復しており、2021年には同26％増の1兆6,420億円に拡大すると予想される。
　応用分野別では2020年で絶縁膜用途が46％で最大となっている。さらにコンダクタ加工用途が35％、メタル用途が19％となっている。

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