真空ロボットの製品一覧

真空内で動作するロボット。製造装置用では、真空度が10-4～10-6Paでの動作を前提にしているものが多い。より低い真空度で使用するロボットもある。

RR493L300

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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RR493L180

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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RR492L400

ローツェ株式会社

2つのフロッグレッグアームを持つ真空ロボット

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RR481L300

ローツェ株式会社

超高真空対応、高精度・ハイスループットロボット

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RR491L300

ローツェ株式会社

フロッグレッグアーム真空ロボット。シングルアームタイプ

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RR493L200

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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RR493L230

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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SR8608

ニデックインスツルメンツ株式会社

2アームＸ2エンドエフェクタの高スループット真空ロボット

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真空対応 AR-Wnシリーズ

平田機工株式会社

AR-Wnシリーズは300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用。高真空 高精度、高速動作、高信頼で、シングルアーム「AR-Wn170VHCL-3-S」、ツインアーム「AR-Wn170…

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真空対応 AR-Wnシリーズ：AR-Wn220VDCL-4-T-100

平田機工株式会社

300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用高真空・高精度・高速動作・高信頼でアームバリエーションも豊富

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ローツェ 株式会社


1985年にステッピングモータの製造からスタートし、1986年末にはクリーンロボット（大気ロボット）、1988年9月には真空ロボットを発表した。国内…

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ニデックインスツルメンツ 株式会社


ニデックインスツルメンツ（旧日本電産サンキョー）はニデックの子会社として、ステッピングモータなどの各種モータからカードリーダ、産業用ロ…

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平田機工 株式会社


半導体関連生産設備では、シリコンウェーハを各種処理装置に取り込むロードポート、大気・真空環境に対応可能なウェーハ搬送ロボットおよびそれ…

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