真空ロボットの製品一覧
真空内で動作するロボット。製造装置用では、真空度が10-4～10-6Paでの動作を前提にしているものが多い。より低い真空度で使用するロボットもある。
MagnaTranR 7 BiSymmetrik (MAG 7 B)
Brooks Automation Inc.
真空クラスタ ツールのハイ スループット アプリケーション向け搬送ロボット
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