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真空ロボットの製品一覧

真空内で動作するロボット。製造装置用では、真空度が10-4～10-6Paでの動作を前提にしているものが多い。より低い真空度で使用するロボットもある。

MagnaTranR 7 BiSymmetrik (MAG 7 B)

真空クラスタツールのハイスループットアプリケーション向け搬送ロボット

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MagnaTranR 7 Frogleg (MAG 7 F)

真空クラスタツールアプリケーション向けウェーハ搬送ロボット

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MagnaTran 7 Leapfrog (MAG 7 X)

真空クラスタツールでスループットのきわめて高いアプリケーション向けのデュアルアーム同側ウエハー搬送ロボット

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MagnaTran 7 SCARA (MAG 7)

高いリーチ/コンテインメント率を必要とする真空アプリケーション向けウェーハ搬送ロボット

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MagnaTranR 8 QuadraFly

ハイスループットの小型コンテインメントアプリケーションで 4 枚のウエハーを真空で同時に交換

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MagnaTran 8 Radius

積載量が大きく、コンテインメントが小さいアプリケーション向けの高速ウェーハ切り替え真空ロボット

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真空対応 AR-Wnシリーズ：AR-Wn220VDCL-4-T-100

300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用高真空・高精度・高速動作・高信頼でアームバリエーションも豊富

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真空対応 AR-Wnシリーズ

AR-Wnシリーズは300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用。高真空高精度、高速動作、高信頼で、シングルアーム「AR-Wn170VHCL-3-S」、ツインアーム「AR-Wn170…

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RR493L300

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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RR493L180

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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