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真空ロボットの製品一覧

真空内で動作するロボット。製造装置用では、真空度が10-4~10-6Paでの動作を前提にしているものが多い。より低い真空度で使用するロボットもある。

低真空ロボット。低振動・低騒音を実現しており、次世代の半導体製造装置に対応可能です。

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低真空ロボット。低振動・低騒音を実現しており、次世代の半導体製造装置に対応可能です。

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低真空ロボット。低振動・低騒音を実現しており、次世代の半導体製造装置に対応可能です。

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低真空ロボット。低振動・低騒音を実現しており、次世代の半導体製造装置に対応可能です。

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高真空ロボット。低振動・低騒音を実現しており、次世代の半導体製造装置に対応可能です。

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高真空ロボット。低振動・低騒音を実現しており、次世代の半導体製造装置に対応可能です。

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UTVW-R2800H

株式会社 ダイヘン

DDモータ採用で高精度動作が可能な真空ロボット

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ACTRANS UT-VFX3000NM

株式会社 ダイヘン

300mmウェーハ用シングルアーム真空ロボット

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