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MagnaTran 8 Radius

Brooks Automation Inc.
最終更新日: 2020年07月22日

積載量が大きく、コンテインメントが小さいアプリケーション向けの高速ウェーハ切り替え真空ロボット

・運動用シール、ドライブ ベルトやケーブルのない大容量ダイレクト ドライブ テクノロジー
・1,280 万 MCBF を超える実績ある信頼性
・ドライブから最大 15 フィート (約 4.57 m) 離れた位置に設置可能なエンクロージャ内に配置されたコントロール
・特許取得済み Time Optimal Trajectory
・ユーザーがプログラムできるロボット アクセス ゾーン
・CE および SEMI S2 に準拠

基本情報

 ユーザーがプログラム可能な安全ゾーンは、手動運転中に発生する可能性のある衝突を回避することで価値の高いウエハーおよびプロセス機器の安全性を保証できます。モデム接続されているリモートのサービス端末から GUI を使用して包括的な診断を行うことができます。イベントに関するエラー ログは、日付と時刻が記録されています。
 サイクル カウンタは、不揮発性メモリ内に格納され、重要な性能特性をグラフィカルに監視およびレポートできます。マルチ センサ インターフェイスは、基板センサやバルブなどの他の周辺モジュールとの直接的なやり取りを可能にする高速 PIO によって実現します。リアルタイムの情報を使用して、可動コンポーネントのエッジ感知でポジショニングを確認できます。安全のためのウエハーの有無の確認は、マクロ シーケンスで行うことができます。

価格帯 50万円以上 100万円未満
納期 1ヶ月以内
お問い合わせ

取扱企業

Brooks Automation Inc.

業種:産業用機械 15 Elizabeth Drive,Chelmsford, M+1-978-262-2400A 01824 U.S.A. 

半導体などハイテク産業向け真空機器のトップメーカ

Brooks は、半導体製造、ライフ サイエンス、およびクリーン エネルギーなど、複数の市場に対応した自動化、真空、および計測ソリューションを提供する世界規模の大手プロバイダです。
 1978 年以降、Brooks は半導体製造装置関連のグローバルなサプライヤとなっています。クラス1レベルのクリーンルームで使用可能な半導体ウェーハハンドリングロボットをフルライン、柔軟なエンドエフェクタ、アライナと可搬重量に関して多彩なオプションを準備しています

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