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Vision LEAP Loadport

Brooks Automation Inc.

同社の最新ロードポート

Spartan Sorter

Brooks Automation Inc.

高信頼性・高生産性のEFEM/ソータ―

MagnaTranR 7 BiSymmetrik (MAG 7 B)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツールのハイ スループット アプリケーション向け搬送ロボット

MagnaTranR 7 Frogleg (MAG 7 F)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツール アプリケーション向けウェーハ搬送ロボット

MagnaTran 7 Leapfrog (MAG 7 X)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツールでスループットのきわめて高いアプリケーション向けのデュアル アーム同側ウエハー搬送ロボット

MagnaTran 7 SCARA (MAG 7)

Brooks Automation Inc.

高いリーチ/コンテインメント率を必要とする真空アプリケーション向けウェーハ搬送ロボット

MagnaTranR 8 QuadraFly

Brooks Automation Inc.

ハイ スループットの小型コンテインメント アプリケーションで 4 枚のウエハーを真空で同時に交換

MagnaTran 8 Radius

Brooks Automation Inc.

積載量が大きく、コンテインメントが小さいアプリケーション向けの高速ウェーハ切り替え真空ロボット