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Spartan Sorter

Brooks Automation Inc.
最終更新日: 2024年05月30日

高信頼性・高生産性のEFEM/ソータ―

業界最高レベルのパーティクル性能、低コストオーナーシップを実現。信頼性、メンテナンス性の評価が高く、1200台以上の出荷実績を残している。

基本情報

ISO Class 1 性能を実現
デュアル、超薄型エッジグリップ・ウェーハハンドリングを採用
Rectilinearモーション機構を採用、高い信頼性を実現
柔軟な装置構造と先端ソフトウェアサポートにサイクルタイムを低減している。

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取扱企業

Brooks Automation Inc.

業種:産業用機械 15 Elizabeth Drive,Chelmsford, M+1-978-262-2400A 01824 U.S.A. 

半導体などハイテク産業向け真空機器のトップメーカ

Brooks は、半導体製造、ライフ サイエンス、およびクリーン エネルギーなど、複数の市場に対応した自動化、真空、および計測ソリューションを提供する世界規模の大手プロバイダです。
 1978 年以降、Brooks は半導体製造装置関連のグローバルなサプライヤとなっています。クラス1レベルのクリーンルームで使用可能な半導体ウェーハハンドリングロボットをフルライン、柔軟なエンドエフェクタ、アライナと可搬重量に関して多彩なオプションを準備しています

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