サセプタ の製品一覧

半導体製造装置の内部で半導体材料のシリコンウェーハを支持するセラミック製の機能部品。高温の腐食性ガスやプラズマなどにさらされる半導体製造プロセスでも安定している。

真空環境におけるアウトガス分析
株式会社住化分析センター

『真空環境下で材料から発生するアウトガスを定性・定量』

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半導体材料の溶出試験
株式会社住化分析センター

『半導体材料の清浄度評価のための溶出試験』

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