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枚葉式洗浄装置の製品一覧

スプレーなどによりウェーハを1枚ずつ洗浄する装置

スピンスクラバSS-3300S(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

注目

16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現

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裏面洗浄装置「SB-3300」(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

注目

ブラシ洗浄と薬液によるエッチング&洗浄機能を併せ持つ、ハイブリッドタイプ

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8インチ対応洗浄装置
芝浦メカトロニクス株式会社

注目

様々な要求に対応可能な装置

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SCREEN歴代枚葉洗浄装置のDNAを継承 最大24チャンバの圧倒的な生産性と、最高水準の処理技術を結集

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最先端搬送機構の開発により、最大毎時800枚のハイスループットを実現

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処理チャンバの積層化により最大8チャンバを搭載可能

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12チャンバを搭載、最大毎時800枚のハイスループットを実現

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ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、 優れたコストパフォーマンスを実現

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FEOLからBEOLまで幅広い洗浄プロセスに対応

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豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ

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