枚葉式洗浄装置の製品一覧

スプレーなどによりウェーハを1枚ずつ洗浄する装置

4、6インチウエハ向け洗浄装置
グローバルネット株式会社

注目

両面の水洗浄が可能な4、6インチウエハ向け洗浄装置

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Sonosys社 超音波洗浄装置 (枚葉洗浄)

ティックコーポレーション株式会社

半導体や基板の洗浄の問題を解決します

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裏面洗浄装置「SB-3300」

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ブラシ洗浄と薬液によるエッチング&洗浄機能を併せ持つ、ハイブリッドタイプ

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スピンスクラバSS-3300S

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現

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8インチ対応洗浄装置

芝浦メカトロニクス株式会社

様々な要求に対応可能な装置

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SU-3300

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

SCREEN歴代枚葉洗浄装置のDNAを継承 最大24チャンバの圧倒的な生産性と、最高水準の処理技術を結集

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SS3200

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

最先端搬送機構の開発により、最大毎時800枚のハイスループットを実現

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SS-3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

処理チャンバの積層化により最大8チャンバを搭載可能

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SU-3200

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

12チャンバを搭載、最大毎時800枚のハイスループットを実現

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SU2000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、 優れたコストパフォーマンスを実現

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