单晶圆清洗设备 产品列表

通过喷淋等方式对晶圆进行逐片清洗的设备。

4、6インチウエハ向け洗浄装置
グローバルネット株式会社

注意力

可双面水洗的4英寸和6英寸晶圆清洗设备

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SiCウェーハ向け枚葉式自動洗浄装置

PHT株式会社

该设备是针对φ150mm（6”）、φ200mm（8”）尺寸的SiC晶圆的单晶圆清洗设备。 操作员将晶圆放置在 LD 侧的每个装有 25 片晶圆的盒式磁带中。 清洁…

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Sonosys社　超音波洗浄装置 (枚葉洗浄）

ティックコーポレーション株式会社

解决半导体和基板清洁问题

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裏面洗浄装置「SB-3300」

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

结合刷子清洗和化学蚀刻清洗功能的混合型

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スピンスクラバSS-3300S

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

配备 16 个腔室，实现每小时高达 1,000 片晶圆的高产量

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8インチ対応洗浄装置

芝浦メカトロニクス株式会社

可满足多种要求的设备

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SU-3300

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

继承SCREEN先前单晶圆清洗系统的DNA 拥有多达 24 个腔室的压倒性生产力和最高水平的加工技术

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SS3200

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

通过开发最尖端的传送机制，实现了每小时高达800片晶圆的高吞吐量。

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SS-3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

处理室可以堆叠，最多可容纳八个室

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SU-3200

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

配备 12 个腔室，实现高达每小时 800 片晶圆的高产量

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グローバルネット 有限公司

注意力

Global Net Corporation (GNC) 成立于 1990 年，旨在通过出版物和研讨会及时提供有关半导体和平板显示器的信息。 2020年，我们将庆祝成立30周年…

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芝浦メカトロニクス 有限公司


本课题组汇集长年培育的核心技术（精密机电、清洗、真空、成膜、蚀刻、粘合等），为平板显示器、半导体、电子元件、光学薄膜等应用提供从制造设…

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SCREENセミコンダクターソリューションズ 有限公司


SCREEN 半导体解决方案 公司以蚀刻、光刻、图像处理为核心技术，成为全球领先的半导体清洗工艺制造商之一。我们拥有丰富的设备阵容，从用于尖端…

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