枚葉式洗浄装置の製品一覧
裏面洗浄装置「SB-3300」
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
ブラシ洗浄と薬液によるエッチング&洗浄機能を併せ持つ、ハイブリッドタイプ
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スピンスクラバSS-3300S
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現
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8インチ対応洗浄装置
芝浦メカトロニクス株式会社
様々な要求に対応可能な装置
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SU-3300
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
SCREEN歴代枚葉洗浄装置のDNAを継承 最大24チャンバの圧倒的な生産性と、最高水準の処理技術を結集
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SS3200
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
最先端搬送機構の開発により、最大毎時800枚のハイスループットを実現
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SS-3100
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
処理チャンバの積層化により最大8チャンバを搭載可能
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SU-3200
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
12チャンバを搭載、最大毎時800枚のハイスループットを実現
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SU2000
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、 優れたコストパフォーマンスを実現
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SU3100
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
FEOLからBEOLまで幅広い洗浄プロセスに対応
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SS-80EX
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ
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