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裏面洗浄装置「SB-3300」

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
最終更新日: 2021年12月10日
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ブラシ洗浄と薬液によるエッチング&洗浄機能を併せ持つ、ハイブリッドタイプ

この装置は、最先端半導体デバイスのフォトリソグラフィー工程において、焦点ズレ（Defocus）の原因となるウエハー裏面のパーティクルを、薬液とブラシの同時処理による高い洗浄能力で除去。また、デバイス面を確実に保護する独自のチャックシステムを採用することで、ウエハー端部のエッチング残渣レスとデバイス面への薬液の回り込み防止を両立しています。加えて、緻密なノズル動作と薬液吐出制御機能によるコントロールエッチングによって、高精度な面内均一性を実現することで、ウエハーの反り抑制にも貢献します。さらに、当社枚葉式洗浄装置のフラッグシップモデル「SU-3300」の4段積みタワー構造による省スペース設計を継承したプラットフォームに、16チャンバーを搭載する
ことで、ウエハーの反転処理を含めた裏面洗浄において毎時700枚という業界トップクラスの実用処理能力を実現。

基本情報

1. ハイブリッド洗浄
業界初となる、薬液とブラシの同時処理機能による高い洗浄能力でウェーハ裏面のパーティクルを除去します。

2. ウェーハの反りを抑制
緻密なノズル動作と薬液吐出制御機能によるコントロールエッチングで、高精度な面内均一性を実現し、ウェーハの反り抑制に貢献します。

3. デバイス面の保護
独自のチャックシステムを採用することで、ウェーハ端部のエッチング残渣レスと、デバイス面への薬液の回り込み防止を両立します。

4. 高生産性
4段積みタワー構造による省スペース設計と16チャンバ搭載により、ウェーハの反転処理を含めた裏面洗浄において、毎時700枚という業界トップクラスの実用処理能力を実現しました。

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取扱企業

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

業種：産業用機械  所在地：京都府 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目 天神北町1-1

半導体製造用洗浄装置のトップメーカー

SCREENセミコンダクターソリューションズは、
エッチング、フォトリソグラフィ、画像処理を技術のコアとし、半導体洗浄プロセスにおいて世界のトップメーカとなっている。最先端デバイス向けの高機能・高生産性装置から、200mm以下のさまざまなサイズ・形状の基板に対応できる製品まで、幅広い装置ラインナップをそろえている

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