ラッピング装置の製品一覧

ウェーハ表面の歪み層を除去、粗研磨する装置

DSM28B-5L-4D

スピードファム株式会社

300mm ウェーハ向け両面ラップ装置

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USP-32B

不二越機械工業株式会社

大型量産化対応300mmウェーハラッピング装置

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スピードファム 株式会社


グラインディング装置、ラッピング／ポリッシング装置というウェーハ研磨装置が事業の中心。子会社のスピードファム・クリーンシステム社で半導…

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不二越機械工業 株式会社


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