スピードファム株式会社の製品一覧
FAM48BAW/SPAW
スピードファム株式会社
汎用片面研磨装置
SM20B-5P-4D
300mm/200mm ウェーハ向け両面ポリッシュ装置
DSM28B-5L-4D
300mm ウェーハ向け両面ラップ装置
「スピードファム株式会社」の関連企業一覧
スピードファム 株式会社
グラインディング装置、ラッピング/ポリッシング装置というウェーハ研磨装置が事業の中心。子会社のスピードファム・クリーンシステム社で半導…
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