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USP-32B

不二越機械工業株式会社
最終更新日: 2022年03月18日

大型量産化対応300mmウェーハラッピング装置

・300mmウェーハ対応　１バッチ２０枚の処理が可能。
・下定盤、上定盤、サンギア、インターナルギアはそれぞれ駆動するので回転数をより最適に設定可能。
・無段変速装置で加工物に適した回転数の選択可能。
・上定盤吊り具にスプリング機構（特許）を設けることで着盤時のショックを和らげると共に、荷重をなめらかに伝達できる。

基本情報

・20枚/バッチの量産対応

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取扱企業

不二越機械工業株式会社

業種：産業用機械  所在地：長野県 長野市松代町清野 1650

シリコンウェーハ研磨装置のトップメーカ

平坦化技術を生かして、ラッピング装置、ポリッシング装置というウェーハ研磨装置で実績を上げている。2021年2月期の売上高は173億円。ラッピング、ポリッシングのほか、マウンティング／デマウンティング装置、洗浄装置、各種検査装置の開発・製造も行っている。今後も固有技術である「限りないフラットネス」をさらに極めるとともに、新分野・新技術の開拓にも意欲的に挑戦する。

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