ギャップ制御の製品一覧

パネル両面から圧力をかけて、広い面積のセルギャップの調整を行う装置

チラー(Chiller)

株式会社日立ハイテク

チラーは、冷媒サイクルにより温度調整した液体(熱媒体)を対象装置に循環・熱交換させることで、対象装置温度を一定に保つ装置です。半導体製造…

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