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大電流イオン注入装置の製品一覧

数十mAの高いビーム電流で、1E14(1×1014)ions / cm2以上の高ドーズ注入に用いられる。ソース・ドレインへの注入や、ゲート電極への注入などに用いられる。

高電流イオン注入装置(Axelis Technlologies社製品)

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中電流・高電流の両技術を融合した、All-in-One型イオン注入装置

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極低エネルギーイオン注入を可能にした高電流イオン注入装置

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多様なアプリケーションに対応可能な、後段加速付高電流イオン注入装置の デファクトスタンダード

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高生産性高電流イオン注入装置

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斜角トライデント
Applied Materials,Inc

最先端プロセス向け高電流イオン注入装置

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ピュリオン-H

Axcelis Technology

多用途性、スループット、均一性を提供し、所有コストを抑制できる高電流イオン注入装置

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