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大電流イオン注入装置の製品一覧

数十mAの高いビーム電流で、1E14(1×1014)ions / cm2以上の高ドーズ注入に用いられる。ソース・ドレインへの注入や、ゲート電極への注入などに用いられる。

高電流イオン注入装置(Axelis Technlologies社製品)

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