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不純物導入装置(拡散装置は成膜装置内)の製品一覧

半導体中に不純物元素を微量入れてキャリア(電子または正孔(ホール))を発生させるプロセスのための処理装置

高エネルギーイオン注入装置(Axcelis Technologies社製)

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高電流イオン注入装置(Axelis Technlologies社製品)

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中電流イオン注入装置(Axcelis Technolgies社製品)

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