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SOPHI-400

株式会社アルバック
最終更新日: 2024年05月31日

Max2400KeVまで対応可能な高エネルギーのイオン注入装置

・枚葉式
・薄Wafer対応
・水素(H)でのField Stop層の工程が可能
・パラレルビーム
・用途:パワーデバイス等の薄型基板プロセス、IGBTプロセス

基本情報

・基板サイズ:Max200mm
・最大電圧:2400 keV(P)

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取扱企業

株式会社アルバック

業種:繊維  所在地:神奈川県 茅ヶ崎市萩園 2500

イノベーションの創出で産業と科学の発展に貢献し、 豊かな未来を創造する

アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提供するユニークな企業グループです。
 変革の時代をチャンスととらえ、スピード感をもって様々な分野のニーズにグループ総合力とイノベーションでお応えし、産業と科学の発展に貢献することにより豊かな未来を創造していきたいと考えております。

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