ターボ分子ポンプの製品一覧
UTM-MIシリーズ
株式会社アルバック
磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。
UTM300
セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。優れた高背圧特性により補…
UTM70B
セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプ
UTM-FH/FWシリーズ
デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・…
関連用語
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「ターボ分子ポンプ」の関連企業一覧
株式会社 アルバック
アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提…
関連企業一覧
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