半導体用語集
ターボ分子ポンプ
英語表記：turbo molecular
タービン形の翼をもつ高速回転するロータによって、その表面に衝突した気体分子に運動量を与え、気体輸送を行う運動量輸送式真空ポンプ。分子流領域で有効に作動する。
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ディスプレイ製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 貼り合わせ／ギャップ形成 › アライメント／貼り合わせ装置（真空）
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