半導体用語集
ターボ分子ポンプ
英語表記：turbo molecular
タービン形の翼をもつ高速回転するロータによって、その表面に衝突した気体分子に運動量を与え、気体輸送を行う運動量輸送式真空ポンプ。分子流領域で有効に作動する。
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UTM-MIシリーズ
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磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。
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UTM300
株式会社アルバック
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株式会社アルバック
デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。
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