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UTM-FH/FWシリーズ

株式会社アルバック
最終更新日: 2024年05月31日

デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。

・監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。
・カップリングフリーシステムの搭載。1台のパワーサプライで、機種切替により登録されているポンプ本体との組合せ運転が可能。
・スピードバリアブルシステム搭載。排気速度を25%?100%の範囲で可変。
・優れた耐食表面処理を施しているため、さらなるハードプロセスに向けて特殊表面処理
・内部昇温システムがオプションで対応可能。(FWシリーズ)
・破壊エネルギー吸収構造採用により、不具合時の装置ダメージを小さくする高安全設計。
・用途
 ミドル-ハードプロセス用メインポンプとして(FWシリーズ)
 ライト-ミドルプロセス用メインポンプとして(FHシリーズ)
 各種実験装置等の高~超高真空排気用メインポンプとして

基本情報

(1)高域かつ大流量型 吸気口フランジ口径 N2排気速度(L/s)? *1 ?*2
UTM-3301FW     VG350   3300
UTM-2300FW     VG300   2730
    VG250   2230
    ICF305   2110
UTM-1400FW     VG250   1490
    VG200   1360
    ICF253   1300
UTM-1001FW     VG200   1000
    ICF253   1000
UTM-800FW     VG150   810
    ICF203   740
UTM-480FW     VG150   480
    ICF203   480
UTM-350FW   VG100   350
    ICF152   330

(2)高背圧かつ高圧縮型 吸気口フランジ口径 N2排気速度(L/s)
UTM-6300FH   VG500   6300
UTM-3303FH   VG350   3300
UTM-1001FH   VG200   1000
    ICF253   1000
UTM-800FH     VG150   810
    ICF203   740
UTM-480FH     VG150   480
    ICF203   480
UTM-350FH     VG100   350
    ICF152   330

お問い合わせ

取扱企業

株式会社アルバック

業種:繊維  所在地:神奈川県 茅ヶ崎市萩園 2500

イノベーションの創出で産業と科学の発展に貢献し、 豊かな未来を創造する

アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提供するユニークな企業グループです。
 変革の時代をチャンスととらえ、スピード感をもって様々な分野のニーズにグループ総合力とイノベーションでお応えし、産業と科学の発展に貢献することにより豊かな未来を創造していきたいと考えております。

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