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STM/AFMの製品一覧

STM:走査型トンネル顕微鏡。非常に鋭く尖った探針を導電性の物質の表面または表面上の吸着分子に近づけ、流れるトンネル電流から表面の原子レベルの電子状態、構造など観測するもの。/AFM:原子間力顕微鏡。原子間力はあらゆる物質の間に働き、また装置内に真空も要求されないため、大気中や液体中、または高温から低温まで様々な環境で、自然に近い状態で測定できる

高生産性縦型装置

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次世代デバイス、特に3次元(立体構造)デバイスに向けた成膜品質向上の市場ニーズにこたえる高品質成膜・高性能半導体製造装置

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200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置

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MARORA(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
Kokusai Electric株式会社

次世代DRAM、ロジックのゲート絶縁膜形成、フラッシュメモリの絶縁膜形成に最適な枚葉プラズマ窒化・酸化装置

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