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TSURUGI-C2 剱

Kokusai Electric株式会社
最終更新日: 2021年04月28日

次世代デバイス、特に3次元(立体構造)デバイスに向けた成膜品質向上の市場ニーズにこたえる高品質成膜・高性能半導体製造装置

・高生産性の実現:最大1.5倍のロット処理を実現(当社比)
・深溝形状への均一な膜形成
・低温で高精度・高品質な成膜を実現
・ヘルスチェック機能(オプション)

基本情報

ウェーハサイズ  ~300mm
アプリケーション LP CVD、酸化、アニール (低温、高温)、拡散

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取扱企業

Kokusai Electric株式会社

業種:繊維  所在地:東京都 千代田区神田鍛冶町 3-4 oak神田鍛冶町5F

成膜装置のリーディングメーカーを目指す

 当社は、株式会社日立国際電気から独立して、新たにKKRファンドのもとで半導体製造装置事業の専門メーカーとして2018年6月1日より「株式会社KOKUSAI ELECTRIC」を新たにスタートしました。当社は新生会社として、この市場環境で変化するユーザニーズに、これまで培ってきた成膜技術をコアに先端技術でお応えし、成膜リーディングメーカーをめざしていきます。常にお客さま視点でのイノベーション企業として、スピーディーな事業オペレーションを展開し、高品質な製品・サービスの提供に努めてまいります。

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