MEMSの製品一覧
機構部品とセンサなどの電子回路を組みあわせた小型電子システム
SOI SiSi 薄膜SOI MEMS用基板ウエハー ファウンドリーサービス
100-200mmの貼付ウエハー（SOI,SiSi）や誘電体分離や高アスペクト比の深いトレンチエッチなどカスタム品を提供します
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