エピタキシャル成長装置の製品一覧

Siなどの基板上に、下地基板の結晶面にそろえて結晶成長を行い、新しく単結晶の薄膜を成長させる装置。

EPIREVO S8

株式会社ニューフレアテクノロジー

200㎜枚葉式SiCエピタキシャル成長装置

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Probus-SiC

東京エレクトロン株式会社

SiCエピタキシャル成膜装置

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