エピタキシャル成長装置の製品一覧
EPIREVO S8
株式会社ニューフレアテクノロジー
200㎜枚葉式SiCエピタキシャル成長装置
Probus-SiC
東京エレクトロン株式会社
SiCエピタキシャル成膜装置
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