RTP装置の製品一覧
LA-3100
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
最先端デバイスの特性改善に大きく貢献するフラッシュランプアニール装置
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LT3100
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
レーザアニール装置。超低サーマルバジェット。サブマイクロ秒オーダーでウェーハ最表面のみのメルトアニールを実現。
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LA-3000-F
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
ウルトラシャロージャンクション形成を可能に
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