RTP装置の製品一覧

シリコンウェーハを数秒あるいはそれ以下の短時間で1

最先端デバイスの特性改善に大きく貢献するフラッシュランプアニール装置

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レーザアニール装置。超低サーマルバジェット。サブマイクロ秒オーダーでウェーハ最表面のみのメルトアニールを実現。

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ウルトラシャロージャンクション形成を可能に

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SWA90GDシリーズ

住友重機械工業株式会社

次世代パワーデバイス用レーザアニール装置

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