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RTP装置の製品一覧

シリコンウェーハを数秒あるいはそれ以下の短時間で1

レーザアニール装置。超低サーマルバジェット。サブマイクロ秒オーダーでウェーハ最表面のみのメルトアニールを実現。

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最先端デバイスの特性改善に大きく貢献するフラッシュランプアニール装置

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ウルトラシャロージャンクション形成を可能に

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