RTP装置の製品一覧

シリコンウェーハを数秒あるいはそれ以下の短時間で1

PFSシリーズ

株式会社アルバック

SiC プロセス等の高温での処理が必要な工程にマッチングさせた活性化アニール装置です。

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SWA90GDシリーズ

住友重機械工業株式会社

次世代パワーデバイス用レーザアニール装置

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LA-3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

最先端デバイスの特性改善に大きく貢献するフラッシュランプアニール装置

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LT3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

レーザアニール装置。超低サーマルバジェット。サブマイクロ秒オーダーでウェーハ最表面のみのメルトアニールを実現。

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LA-3000-F

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ウルトラシャロージャンクション形成を可能に

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株式会社 SCREENセミコンダクターソリューションズ


SCREENセミコンダクターソリューションズは、 エッチング、フォトリソグラフィ、画像処理を技術のコアとし、半導体洗浄プロセスにおいて世界の…

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住友重機械工業 株式会社


半導体製造装置関連では、子会社の「住友重機械イオンテクノロジー」でイオン注入装置の製造、販売を行っている。そのほかレーザ技術を応用した…

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株式会社 アルバック


アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提…

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