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SWA90GDシリーズ

住友重機械工業株式会社
最終更新日: 2023年09月21日

次世代パワーデバイス用レーザアニール装置

独自のダブルパルスプロセスを可能にした固体レーザと長波長レーザ(第2高調波(Green)レーザ)を搭載したハイブリットアニール装置。 固体レーザの特徴である、高繰り返し高パルスエネルギ安定性、メンテナンスフリー、コンパクト設計を備え、半導体分野の次世代プロセスの開発を促進する。最新機種は300mmウェーハ対応となっている。

基本情報

(1)深い活性化(~4μm)と,高い均一性で高品質なアニールを実現
(2)省フットプリント化(W1450×L4810×H2450mm)を実現。
(3)高スループット(7500枚/月)。
(4)新しいプロセス手法の採用により,デバイスの熱影響を削減。
(5)SEMI通信規格GEM300に対応。
(6)プロセス状態のオンラインモニタリングを標準装備。

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取扱企業

住友重機械工業株式会社

業種:産業用機械  所在地:東京都 品川区大崎 2丁目1番1号(ThinkPark Tower)

半導体関連ではイオン注入装置、クライオポンプなどが主力

半導体製造装置関連では、子会社の「住友重機械イオンテクノロジー」でイオン注入装置の製造、販売を行っている。そのほかレーザ技術を応用したレーザアニーリング装置についてもSiCパワーデバイス向けに実績を伸ばしている。

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