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RF電源/その他電源の製品一覧

プラズマ発生に使用される高周波(RF)電源。プラズマ発生では13.56MHzの比率が高い。その他に、DC電源、パルスDC電源、無停電電源などが使用されている

1.5kW HFK15TP

株式会社 京三製作所

電力変換システム デジタル制御RFシステム

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