ロボットの製品一覧

ウェーハの受け取り、導入、装置内のウェーハの移送を行うためのロボット

コンパクト電動グリッパ

ケーエスエス株式会社

KSSの世界最小クラス開閉ボールねじを使用した軽量、コンパクトな電動グリッパです。

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IH-860DSIC

株式会社アルバック

高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。

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SOPHI-400

株式会社アルバック

Max2400KeVまで対応可能な高エネルギーのイオン注入装置

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ケーエスエス 株式会社


当社はシャフト軸外径がφ16mm以下のボールねじを専門に、世界最小径のボールねじ軸径φ1.8mm、ﾘｰﾄﾞ0.5mmの製作が可能です。 当社はミニチュアボ…

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株式会社 アルバック


アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提…

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