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ロボットの製品一覧

ウェーハの受け取り、導入、装置内のウェーハの移送を行うためのロボット

IH-860DSIC

株式会社アルバック

高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。

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SOPHI-400

株式会社アルバック

Max2400KeVまで対応可能な高エネルギーのイオン注入装置

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