ロボットの製品一覧

ウェーハの受け取り、導入、装置内のウェーハの移送を行うためのロボット

ウェーハ搬送ロボット PHT-R-4

PHT株式会社

本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。

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NTH20

川崎重工業株式会社

5軸水平多関節ロボット

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SEMISTAR-GEKKO VD31HQF

株式会社安川電機

4軸水平多関節ダブルアームロボット

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SEMISTAR-GEKKO VD31HDA

株式会社安川電機

4軸水平多関節シングルアームロボッ

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コンパクト電動グリッパ

ケーエスエス株式会社

KSSの世界最小クラス開閉ボールねじを使用した軽量、コンパクトな電動グリッパです。

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IH-860DSIC

株式会社アルバック

高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。

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SOPHI-400

株式会社アルバック

Max2400KeVまで対応可能な高エネルギーのイオン注入装置

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株式会社 安川電機


安川電機は1915年の設立以来、「事業の遂行を通じて広く社会の発展、人類の福祉に貢献する」という経営理念に基づき、“モータの安川”から“オート…

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川崎重工業 株式会社


同社は、1995年半導体製造装置用ロボットを開発、以降業界をリードしている。需要拡大に対応するため、製造能力の拡大を進め、2017年には半導体…

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PHT 株式会社


PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。 特徴 PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機…

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