ロボットの製品一覧

ウェーハの受け取り、導入、装置内のウェーハの移送を行うためのロボット

サーボモータ仕様フリーアクセスロボット。300mmウェーハ対応。高速搬送、高クリーン度を実現したフラッグシップモデル

詳細を確認する

サーボモータ仕様大気用クリーンロボット。EFEMに開発した低価格・高性能な搬送ロボット。高速反動、高クリーン度を実現する同社搬送ロボットの…

詳細を確認する

5軸水平多関節ロボット

詳細を確認する

SEMISTAR-GEKKO VD31HQF
株式会社安川電機

4軸水平多関節ダブルアームロボット

詳細を確認する

SEMISTAR-GEKKO VD31HDA
株式会社安川電機

4軸水平多関節シングルアームロボッ

詳細を確認する

ウェーハ搬送ロボット PHT-R-4

PHT株式会社

本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。

詳細を確認する

コンパクト電動グリッパ

ケーエスエス株式会社

KSSの世界最小クラス開閉ボールねじを使用した軽量、コンパクトな電動グリッパです。

詳細を確認する

IH-860DSIC

株式会社アルバック

高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。

詳細を確認する

SOPHI-400

株式会社アルバック

Max2400KeVまで対応可能な高エネルギーのイオン注入装置

詳細を確認する
全 9 件中 1 ~ 9 件を表示中
表示件数: