ロボットの製品一覧
MTE-E タツモ株式会社
サーボモータ仕様フリーアクセスロボット。300mmウェーハ対応。高速搬送、高クリーン度を実現したフラッグシップモデル
TT301A-WA タツモ株式会社
サーボモータ仕様大気用クリーンロボット。EFEMに開発した低価格・高性能な搬送ロボット。高速反動、高クリーン度を実現する同社搬送ロボットの…
NTH20 川崎重工業株式会社
5軸水平多関節ロボット
SEMISTAR-GEKKO VD31HQF 株式会社安川電機
4軸水平多関節ダブルアームロボット
SEMISTAR-GEKKO VD31HDA 株式会社安川電機
4軸水平多関節シングルアームロボッ
ウェーハ搬送ロボット PHT-R-4
PHT株式会社
本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。
コンパクト電動グリッパ
ケーエスエス株式会社
KSSの世界最小クラス開閉ボールねじを使用した軽量、コンパクトな電動グリッパです。
IH-860DSIC
株式会社アルバック
高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。
SOPHI-400
Max2400KeVまで対応可能な高エネルギーのイオン注入装置
関連用語
関連特集
「ロボット」の関連企業一覧
川崎重工業 株式会社
同社は、1995年半導体製造装置用ロボットを開発、以降業界をリードしている。需要拡大に対応するため、製造能力の拡大を進め、2017年には半導体…
株式会社 安川電機
安川電機は1915年の設立以来、「事業の遂行を通じて広く社会の発展、人類の福祉に貢献する」という経営理念に基づき、“モータの安川”から“オート…
タツモ 株式会社
タツモは半導体製造装置、液晶製造装置、クリーン搬送システム、精密金型などの事業を行っている。半導体製造装置では、塗布現像装置、貼合装置…
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