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NTH20

川崎重工業株式会社
最終更新日: 2023年12月22日

5軸水平多関節ロボット

回転中心をずらしたロングアームにより、走行装置無しで4FOUP 装置に対応
・ダブルハンド
・Z軸ストローク長:0~470 ㎜
・把持タイプ:バキューム/エッジグリップ
・対応ウェハサイズ:8インチ、12インチ
・対応FOUP数:最大4FOUP

基本情報

適用ウエハサイズ ~300 mm(SEMI規格準拠品)
構造 水平多関節
自由度 5
ウエハ把持方式 エッヂグリップ/バキューム
最大リーチ長 1226.6mm
自由度 4自由度
動作範囲 θ1軸(回転・JT2) ±170°
Z軸(昇降)   470 mm
θ2軸(回転・JT4) ±170°
H1軸(回転・JT6)  ±190°
H2軸(回転・JT6)  ±190°
最小回転半径 R500mm
位置繰返し精度 ±0.05 mm
クリーン度 クラス1
対応コントローラ/電源容量 F60/0.5kVA

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取扱企業

川崎重工業株式会社

業種:繊維  所在地:東京都 港区海岸 1-14-5

同社は、1995年半導体製造装置用ロボットを開発、以降業界をリードしている。需要拡大に対応するため、製造能力の拡大を進め、2017年には半導体製造装置向けを含むクリーンロボットの生産拠点を明石工場から西神戸工場に移管、生産能力も月産800台から1300台に強化した。さらにサービス体制の充実を目指して、国内、海外のエンドユーザをサポートするための拠点整備を続けている。

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