CVD装置の製品一覧

原料ガス(Vapor)に、熱、プラズマ、光などのエネルギーを与えることで化学反応を励起・促進して、ウェーハ上に薄膜を形成する装置。

Centura DxZ CVD
Applied Materials,Inc

先進のMEMS、パワーデバイス、パッケージング市場での製造を支援する200mmウェーハ対応プラズマCVD装置

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Dragon XP8

ASM International NV

8チャンバまで搭載可能な量産対応300mmウェーハプラズマCVD

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VECTOR Family

Lam Research

高生産性と低コストを維持しながらも、幅広いプロセスアプリケーションに対応出来る柔軟性を持ったプラズマCVD装置

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Reliant Deposition

Lam Research

MEMS、パワーチップ、RFフィルタ、CMOSイメージセンサー等の新分野にも対応したプラズマCVD装置

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PECVD装置NF-300H

Piotech

新世代の3次元フラッシュメモリチップ(3D NAND)に応用した国産初のプラズマCVD装置

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PECVD装置PF-300T

Piotech

当社が独自に開発した100%知的財産権を有している300mm対応PECVD装置

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Prismo D-BLUE®

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

LEDエピタキシャルウェーハの大量生産のためにLED生産ラインに採用された国内最初のMOCVD装置

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