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CME-200/400

株式会社アルバック
最終更新日: 2020年05月21日

枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400は、シリコン系の絶縁膜・バリア膜等の成膜に最適な、量産用PE-CVD装置です。

・27.12MHzの高密度プラズマプロセス
・SiH4系:SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系:SiO2膜の対応可能
・NF3+Arプラズマによるチャンバークリーニング可能
・有機EL向けに低温成膜用ヒーター搭載可能
・トレー搬送で、最大□200mmまで(CME-200E)の基板サイズに対応(CME-400:300×400に対応)
・用途:パワーデバイス、LED、LD、高速デバイス、有機EL、太陽電池、MEMS

基本情報

基板サイズ   <□200mm
対応プラズマ  27.12MHzの高密度プラズマプロセス

価格帯 5000万円以上 1億円未満
納期 1ヶ月以内
お問い合わせ

取扱企業

株式会社アルバック

業種:繊維  所在地:神奈川県 茅ヶ崎市萩園 2500

イノベーションの創出で産業と科学の発展に貢献し、 豊かな未来を創造する

アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提供するユニークな企業グループです。
 変革の時代をチャンスととらえ、スピード感をもって様々な分野のニーズにグループ総合力とイノベーションでお応えし、産業と科学の発展に貢献することにより豊かな未来を創造していきたいと考えております。

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