シール/フランジの製品一覧

シール:加工が行われる密閉空間を外部から隔離するとともに、密閉空間の作業に必要な様々な運動を伝えられるようにするもの/フランジ:円筒形あるいは部材からはみ出すように出っ張った部分の総称。配管分野では、継手のすき間を埋め、漏れを止める役目をするものを指す。

Mirelis VM1000

株式会社日立ハイテク

SiCウェーハの結晶欠陥・加工ダメージの非破壊検査を実現したミラー電子式検査装置

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LSシリーズ

株式会社日立ハイテク

ウェーハ表面検査装置LSシリーズは,パターンなし(鏡面)シリコンウェーハ上に存在する微小異物や欠陥を検査する装置です。

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ISシリーズ

株式会社日立ハイテク

暗視野式ウェーハ欠陥検査装置。プロセスで発生するパターンウエハ上の欠陥・異物を高感度・高速でモニタリングする事が可能です。

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