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ISシリーズ

株式会社日立ハイテク
最終更新日: 2021年07月07日

暗視野式ウェーハ欠陥検査装置。プロセスで発生するパターンウエハ上の欠陥・異物を高感度・高速でモニタリングする事が可能です。

1.高感度検出と高スループット検査を両立
・暗視野式イメージング方式により、高感度、高速モニタリングを実現。
2.マルチモード検査機能搭載により検出能力向上
・Killer工程での高感度検査とモニタリング工程での高スループット検査などに切り替え可能。検査可能な工程が拡大。
3.ユーザフレンドリな操作性
・シンプルなパラメータ設定によるレシピ作成。

基本情報

・ウェーハサイズ  300mm
・検出感度/スループット(PSL付きベアウェーハ)(連続検査)
 0.05μm/5枚(1時間当たり)、0.07μm/20枚(1時間当たり)、0.10μm/35枚(1時間当たり)
・解析機能 高精度欠陥座標出力,
・欠陥サイズ測定機能,自動分類機能
・外部インタフェース Ethernet(FTP) * ,SECS,GEM

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取扱企業

株式会社日立ハイテク

業種:繊維  所在地:東京都 港区虎ノ門虎ノ門ヒルズビジネスタワー9階 1-17-1 虎ノ門ヒルズビジネスタワー9階

「見る・測る・分析する」技術で産業界に貢献

同社は「見る・測る・分析する」というコア技術をその時々の最先端分野の課題を解決できるレベルにまで引き上げ、半導体産業に貢献してきた。現在は独自のプラズマ技術を応用したエッチング装置、微細パターンの検査に利用されるEB測長装置で世界的な実績を残している。

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