CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）の製品一覧

成膜プロセスで使用される材料ガス

液体ルテニウムプリカーサー「TRuST」

田中貴金属工業株式会社

酸素と水素の双方に良好な反応性を持ち、高品位なルテニウム膜を形成できる特徴的なプリカーサー

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