酸化拡散装置の製品一覧
ウェーハ表面に酸化膜を形成する熱酸化膜プロセス、加熱することでウェーハ内に半導体化のための不純物を拡散させるプロセスを行うための装置
300mmウェーハ対応・ラージバッチ縦型炉 VF-5900
シリコンウェーハ、IGBT、ポリイミド、薄ウェーハの酸化・拡散・CVD熱処理装置。 大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現したフラッグシ…
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