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酸化拡散装置の製品一覧

ウェーハ表面に酸化膜を形成する熱酸化膜プロセス、加熱することでウェーハ内に半導体化のための不純物を拡散させるプロセスを行うための装置

原子拡散接合装置 BC7000(SEMICON Japan 2020 Virtual出展:新製品)
キヤノンアネルバ株式会社

常温接合で未来を拓く!

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A412 PLUS/A400

ASM International NV

A412:300mmウェーハ対応高性能縦型拡散/CVD装置 A400:200mm以下ウェーハ対応高性能縦型拡散/CVD装置

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Harrier-L

Eugene Technology

バッチ式高生産性LPCVD/プラズマALDプロセス対応装置

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縦型熱処理装置AVP/RVP/RVP-30

SPPテクノロジーズ株式会社

子会社SPT Microtechnologies USA社製品

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300mmウェーハ対応・ラージバッチ縦型炉 VF-5900

光洋サーモシステム株式会社

シリコンウェーハ、IGBT、ポリイミド、薄ウェーハの酸化・拡散・CVD熱処理装置。 大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現したフラッグシ…

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常温ウェーハ接合装置BOND MEISTER

三菱重工工作機械株式会社

接合プロセスに新たな地平を開く 常温ウェーハ接合装置

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