Eugene Technologyの製品一覧
Harrier-M
Eugene Technology
ミニバッチ式ALD装置
Harrier-L
バッチ式高生産性LPCVD/プラズマALDプロセス対応装置
「Eugene Technology」の関連企業一覧
韓国の成膜装置メーカ。LPCVD、プラズマCVD装置、ALD装置などの製造、販売を行っている。韓国の半導体メーカの国産装置積極導入の動きを受け、業…
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