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300mmウェーハ対応・ラージバッチ縦型炉 VF-5900

シリコンウェーハ、IGBT、ポリイミド、薄ウェーハの酸化・拡散・CVD熱処理装置。
大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現したフラッグシップモデル。

 300mmウェーハ最大100枚、FOUP16個の一括処理が可能なラージバッチ量産タイプの縦型拡散炉です。LGOヒータの採用で低温~中高温まで優れた温度特性を発揮します。シリコンウェーハ以外にもIGBT、ポリイミド、薄ウェーハなどの熱処理に適しています。
・LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮
・枚葉+5枚一括搬送ロボットによる高速ウェーハ搬送
・オペレータフレンドリーな高機能制御システム搭載

基本情報

本体寸法(mm) 1250(W)×4300(D)×3450(H)
ヒータ LGOヒータ
均熱長(mm) 1040
ウェーハサイズ(mm) 300
最大処理枚数 100枚
I/Oポート 2
FOUPストック 16(標準)
ウェーハ搬送 枚葉+5枚一括
オプション 強制冷却システム、N2ロードロック、HOST通信(HSMS/GEM)
用途 酸化・拡散・CVD処理
処理品 シリコン、IGBT、ポリイミド、薄ウェーハ

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取扱企業

ジェイテクトサーモシステム株式会社

業種:産業用機械  所在地:奈良県 天理市嘉幡町 229

熱処理技術で社会に貢献

ジェイテクトサーモシステム株式会社(旧名:光洋サーモシステム)は金属材料・半導体・FPD・電子科学分野の工業用熱処理装置の製造・販売を行っている株式会社ジェイテクトのグループ会社です。1959年に国産初のバッチ型浸炭炉を開発して以来、業界のリーディングカンパニーとして経験とノウハウを蓄積しています。なかでも、太陽電池・ディスプレイ関連の装置では、業界で高いシェアを誇っており、その技術力に高い評価を頂いています。

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