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高エネルギーイオン注入装置の製品一覧

250keVを超えるような高いエネルギーのイオンを注入する装置。デバイスの深い部分へのイオン注入プロセスに使用される。

高エネルギーイオン注入装置(Axcelis Technologies社製)

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S-UHEから生産性を向上させた高エネルギーイオン注入装置

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高エネルギーイオン注入装置のグローバルスタンダード

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パワーデバイス向け水素注入装置

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Purion-XE

Axcelis Technology

高エネルギーイオン注入装置の業界標準

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