高エネルギーイオン注入装置の製品一覧

250keVを超えるような高いエネルギーのイオンを注入する装置。デバイスの深い部分へのイオン注入プロセスに使用される。

IH-860DSIC

株式会社アルバック

高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。

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SOPHI-400

株式会社アルバック

Max2400KeVまで対応可能な高エネルギーのイオン注入装置

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SS-UHE

住友重機械イオンテクノロジー株式会社

S-UHEから生産性を向上させた高エネルギーイオン注入装置

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S-UHE

住友重機械イオンテクノロジー株式会社

高エネルギーイオン注入装置のグローバルスタンダード

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Exceed400HY

日新イオン機器株式会社

パワーデバイス向け水素注入装置

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Purion-XE

Axcelis Technology

高エネルギーイオン注入装置の業界標準

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Purion XE

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

高エネルギーイオン注入装置（Axcelis Technologies社製）

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住友重機械イオンテクノロジー 株式会社


NOVA、Axcelis Technologyとの合弁を解消、住友重機械工業の100％子会社として活動している。高電流装置は国内大手メーカに納入実績を残している…

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日新イオン機器 株式会社


半導体用イオン注入装置では中電流装置が中心となっている。また、SiCデバイス向けのアルミイオン注入装置を実用化、トップメーカーとなっている…

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株式会社 SCREENセミコンダクターソリューションズ


SCREENセミコンダクターソリューションズは、 エッチング、フォトリソグラフィ、画像処理を技術のコアとし、半導体洗浄プロセスにおいて世界の…

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