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Purion-XE

Axcelis Technology
最終更新日: 2022年04月01日

高エネルギーイオン注入装置の業界標準

独自のRF線形加速器(LINAC)技術が、競合のプラットフォームよりも高い信頼性、広いエネルギー範囲を提供し、優れた金属混入制御とともに提供します。

基本情報

〇RF LINACをベースとするビームラインに用いられているマルチフィルタ技術が、他の設計では逃してしまう不純物をフィルタリングし、金属・パーティクル混入を業界トップレベルの低さに抑えます。
〇特許を取得したVectorTM制御システムが、その場で水平・垂直確度の測定と補正を行い、ゼロ度注入を可能にします。
〇高速PurionエンドステーションとRF LINACをベースとするビームラインにより、最大500WPHのスループットを実現し、最も広いエネルギー範囲(40keV~15MeV)全体に業界最高のビーム電流を提供します。

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取扱企業

Axcelis Technology

業種:産業用電気機器 108 チェリーヒルドライブ、ビバリー、マサチューセッツ州 01915-1088 

高エネルギーイオン注入装置で実績伸ばす

NOVA社がスピンアウトして設立されたイオン注入装置メーカ。中電流装置ではPurionシリーズを中心に、トップ企業の一つとなっている。また、高エネルギーイオン注入装置でも世界の主要半導体メーカに納入実績を残している。2021年売上高は6億6,200万米ドル。

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