Axcelis Technologyの製品一覧
Purion-XE
Axcelis Technology
高エネルギーイオン注入装置の業界標準
Purion-H
多用途性、スループット、均一性を提供し、所有コストを抑制できる高電流イオン注入装置
Purion Mシリーズ
高い生産性と高精度を両立させた中電流イオン注入装置
「Axcelis Technology」の関連企業一覧
NOVA社がスピンアウトして設立されたイオン注入装置メーカ。中電流装置ではPurionシリーズを中心に、トップ企業の一つとなっている。また、高エ…
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