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ALD装置の製品一覧

2種類以上のソースガスを交互に反応室に流し、薄膜の成長を1原子層 ( または1分子層 ) ずつ行なう装置

Atomfab(Oxford Instruments社製)(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
株式会社 アルバック

GaNパワーデバイス業界向けプラズマALD 量産対応ソリューション

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プラズマALD装置 AD-230LP(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
株式会社 サムコ

電子デバイスの絶縁膜、パッシベーション膜に

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FlexAL(Oxford Instruments社製)(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
株式会社 アルバック

リモートプラズマ原子層堆積(ALD)プロセスおよび熱ALDの両方を実現

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Atomic Premium
CN1 Co.,ltd.

シャワーヘッドタイプ・サーマル&プラズマ・エンハンスドALD

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Atomic-Mega
CN1 Co.,ltd.

縦型バッチ式ALD装置

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Atomic Classics
CN1 Co.,ltd.

サイドフロー・サーマルALD

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Atomic-Shell
CN1 Co.,ltd.

回転リアクタを採用、3Dコーティングに対応

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Atomic Basic
CN1 Co.,ltd.

コンパクトなサーマルALDモデル

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ALD装置FT-300T

Piotech

当社が独自に開発した300mmウェーハ対応ALD装置

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