ALD装置の製品一覧

2種類以上のソースガスを交互に反応室に流し、薄膜の成長を1原子層 ( または1分子層 ) ずつ行なう装置

Advanced TURUGI PLUS-Ⅲ

Kokusai Electric株式会社

次々世代デバイスに対して高難易度成膜と高生産性を両立するサーマルプロセス装置

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ISACRESEARCH iOV dX3

isacresearch

iOV dX3

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iOV dX1

isacresearch

Best for Small Lab

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SDP CVD

Jusun Engineering

プラズマプロセス搭載したCVD/ALD装置

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HYETA

WONIK

高生産性ALD装置

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HYETA

WONIK

高生産性ALD装置

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GEMINI ALD

WONIK

高品質な酸化膜、窒化膜形成に対応したALD装置

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NOA ALD

WONIK

メタル形成用ALD装置

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ALTUS

Lam Research

CVD技術とALD技術を組み合わせることで、先進的なタングステンメタライゼーション用途の高度なコンフォーマル金属膜を成膜する

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