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ALD装置の製品一覧

2種類以上のソースガスを交互に反応室に流し、薄膜の成長を1原子層 ( または1分子層 ) ずつ行なう装置

FlexAL（Oxford Instruments社製）

リモートプラズマ原子層堆積（ALD）プロセスおよび熱ALDの両方を実現

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Atomfab（Oxford Instruments社製）

GaNパワーデバイス業界向けプラズマALD 量産対応ソリューション

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Advanced TURUGI PLUS-Ⅲ

次々世代デバイスに対して高難易度成膜と高生産性を両立するサーマルプロセス装置

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ISACRESEARCH iOV dX3

iOV dX3

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iOV dX1

Best for Small Lab

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SDP CVD

プラズマプロセス搭載したCVD/ALD装置

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SD-CVD

CVD/ALD装置

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HYETA

高生産性ALD装置

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HYETA

高生産性ALD装置

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GEMINI ALD

高品質な酸化膜、窒化膜形成に対応したALD装置

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