ALD装置の製品一覧
2種類以上のソースガスを交互に反応室に流し、薄膜の成長を1原子層 ( または1分子層 ) ずつ行なう装置
Solid Source Delivery System（固体供給システム）AcroStarⓇ
有機金属化合物（消防法危険物 第三類該当）のように発火の危険性がなく、膜中にカーボンが残留しない固体塩化物を安定的に連続気化可能な供給装…
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