ALD装置の製品一覧

2種類以上のソースガスを交互に反応室に流し、薄膜の成長を1原子層 ( または1分子層 ) ずつ行なう装置

Advanced TURUGI PLUS-Ⅲ
Kokusai Electric株式会社

次々世代デバイスに対して高難易度成膜と高生産性を両立するサーマルプロセス装置

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プラズマALD装置 AD-230LP（SEMICON Japan 2020 Virtual出展）
株式会社サムコ

電子デバイスの絶縁膜、パッシベーション膜に

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Atomic Premium
CN1 Co.,ltd.

シャワーヘッドタイプ・サーマル＆プラズマ・エンハンスドALD

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Atomic-Mega
CN1 Co.,ltd.

縦型バッチ式ALD装置

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Atomic Classics
CN1 Co.,ltd.

サイドフロー・サーマルALD

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Atomic-Shell
CN1 Co.,ltd.

回転リアクタを採用、3Dコーティングに対応

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Atomic Basic
CN1 Co.,ltd.

コンパクトなサーマルALDモデル

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ISACRESEARCH iOV dX3

isacresearch

iOV dX3

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iOV dX1

isacresearch

小規模研究室に最適

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SDP CVD

Jusun Engineering

プラズマプロセス搭載したCVD/ALD装置

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「ALD装置」の関連企業一覧

株式会社 サムコ

当社は、半導体等電子部品製造装置の製造及び販売を行っております。当社は全半導体製造装置市場の数パーセント程度の市場ですが成長が期待でき…

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Kokusai Electric 株式会社

　当社は、株式会社日立国際電気から独立して、新たにKKRファンドのもとで半導体製造装置事業の専門メーカーとして2018年6月1日より「株式会社KO…

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CN1 Co.,ltd.

CN1社のALD装置はウェーハの表面でのプリカーサ ガスのシーケンスリアクションに基づく強力な薄膜デポジションを行う革命的装置です。

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