カテゴリー

ISACRESEARCH iOV dX3

isacresearch
最終更新日: 2022年11月14日

iOV dX3

Reactor size : 4”, 6”, 8” ,12”
Substrate shape : wafer or rectangular glass
Process temperature : Max. < 500
3 sets of metal organic precursor delivery lines
1 set of liquid reactant delivery lines
Up to 4 sets of special gas reactant delivery lines
PC base control (iSAC iOV Control Pro TM)
Automated wafer handing w/LCC

基本情報

(PE) ALD system

価格帯 5000万円以上 1億円未満
納期 6months after customer oder
お問い合わせ

取扱企業

isacresearch

業種:電子部品・半導体 #2 340, Techno 2-ro, Yuseong-gu, Daejeon, Republic of Korea 

ISACRESEARCH iOV dX3 へのお問い合わせ

お問い合わせいただくにはログインいただき、プロフィール情報を入力していただく必要があります。


ご依頼目的 必須

ご要望 必須

お問い合わせ ご意見等


※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(所属名、部署名、業種、名前、電話番号、郵便番号、住所、メールアドレス)が通知されます。

ISACRESEARCH iOV dX3