EB描画装置の製品一覧

EBでウェーハ上に直接パターンを描画する装置。

アクティブ除振ユニット【リニアモーター制御】LHKP type 制振リニアアクティブ除振台

倉敷化工株式会社

リニアモーター制御と空圧制御の両方の長所を追求した最高性能の除振台

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MBMW-101（IMS Nanofabrication GmbH製品）

日本電子株式会社

マルチビーム電子線描画装置

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倉敷化工 株式会社


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日本電子 株式会社


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