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レーザー干渉計　Qualifire™

アメテック株式会社

最新型レーザー干渉計 QUALIFIREは複数の機能強化を実現しながら装置の軽量化も同時に実現した最新型のZYGOのレーザー干渉計です。

DI4600

株式会社日立ハイテク

高性能暗視野式ウェーハ欠陥検査装置

DI2800

株式会社日立ハイテク

2022年発売。検出時間40枚/時間と高速検査が可能

DI4200

株式会社日立ハイテク

パターン付きウエハの異物欠陥を高感度・高速でモニタリングすることが可能な欠陥検査装置。

GALOIS（ガロワ）

レーザーテック株式会社

GaNウェハの各種欠陥をより高速に検出し、高い解像度で欠陥の観察が可能

SICA88

レーザーテック株式会社

コンフォーカルDIC光学系による表面検査とPL検査を1台に搭載

Surfscan SP7xp

KLA Corporation

先端プロセスにも対応した12.5nmサイズのパーティクルが捕捉可能な欠陥検査装置

ボンディングWaferズレ検査装置

株式会社清和光学製作所

【概要】 両面パターン、貼り合せウェハのパターンズレを測定・検査を行います。 表-裏面、表-表面、表-界面等非破壊で観察できます。 また、…

RISE-300

株式会社アルバック

バッチ式自然酸化膜除去装置RISETM-300は、LSIのDeep-contact底部など困難な自然酸化膜除去に対応するバッチ式プリクリーン装置です。対象ウェー…

ULHITETM NE-7800H

株式会社アルバック

FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAMなどに用いられる難エッチング材料（強誘電体、貴金属、磁性膜等）のエッチングに対応したマルチチャンバー型の低圧・…