製品で絞り込む

企業で絞り込む

ウェーハ欠陥検査装置の製品一覧

ウェーハ上の異物やパターン欠陥を検出し、その欠陥の位置、種類などを求める装置

バッチ式自然酸化膜除去装置RISETM-300は、LSIのDeep-contact底部など困難な自然酸化膜除去に対応するバッチ式プリクリーン装置です。対象ウェー…

詳細を確認する

FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAMなどに用いられる難エッチング材料(強誘電体、貴金属、磁性膜等)のエッチングに対応したマルチチャンバー型の低圧・…

詳細を確認する

オプトデバイス、MEMS向けNLDエッチング装置

詳細を確認する

研究開発向けNLDドライエッチング装置

詳細を確認する

LED向け量産専用ドライエッチング装置

詳細を確認する

研究開発向け高密度プラズマエッチング装置

詳細を確認する

小型エッチング装置CE-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み大気搬送」、「真空搬送」等の自由な組み合わせが可能です。

詳細を確認する
全 7 件中 1 ~7 件を表示中
表示件数: