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ウェーハ欠陥検査装置の製品一覧

ウェーハ上の異物やパターン欠陥を検出し、その欠陥の位置、種類などを求める装置

RISE-300

株式会社アルバック

バッチ式自然酸化膜除去装置RISETM-300は、LSIのDeep-contact底部など困難な自然酸化膜除去に対応するバッチ式プリクリーン装置です。対象ウェー…

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ULHITETM NE-7800H

株式会社アルバック

FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAMなどに用いられる難エッチング材料(強誘電体、貴金属、磁性膜等)のエッチングに対応したマルチチャンバー型の低圧・…

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NLD-5700

株式会社アルバック

オプトデバイス、MEMS向けNLDエッチング装置

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NLD-570

株式会社アルバック

研究開発向けNLDドライエッチング装置

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APIOS NE-950EX

株式会社アルバック

LED向け量産専用ドライエッチング装置

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NE-550EX

株式会社アルバック

研究開発向け高密度プラズマエッチング装置

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EC-L

株式会社アルバック

小型エッチング装置CE-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み大気搬送」、「真空搬送」等の自由な組み合わせが可能です。

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