ウェーハ欠陥検査装置の製品一覧

ウェーハ上の異物やパターン欠陥を検出し、その欠陥の位置、種類などを求める装置

DI2800

株式会社日立ハイテク

2022年発売。検出時間40枚/時間と高速検査が可能

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DI4200

株式会社日立ハイテク

パターン付きウエハの異物欠陥を高感度・高速でモニタリングすることが可能な欠陥検査装置。

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GALOIS（ガロワ）

レーザーテック株式会社

GaNウェハの各種欠陥をより高速に検出し、高い解像度で欠陥の観察が可能

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SICA88

レーザーテック株式会社

コンフォーカルDIC光学系による表面検査とPL検査を1台に搭載

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Surfscan SP7xp

KLA Corporation

先端プロセスにも対応した12.5nmサイズのパーティクルが捕捉可能な欠陥検査装置

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HMI eP5

ASML Holding Ltd,.

電子ビーム式欠陥検査装置のハイエンドモデル

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ボンディングWaferズレ検査装置

株式会社清和光学製作所

【概要】 両面パターン、貼り合せウェハのパターンズレを測定・検査を行います。 表-裏面、表-表面、表-界面等非破壊で観察できます。 また、…

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RISE-300

株式会社アルバック

バッチ式自然酸化膜除去装置RISETM-300は、LSIのDeep-contact底部など困難な自然酸化膜除去に対応するバッチ式プリクリーン装置です。対象ウェー…

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ULHITETM NE-7800H

株式会社アルバック

FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAMなどに用いられる難エッチング材料（強誘電体、貴金属、磁性膜等）のエッチングに対応したマルチチャンバー型の低圧・…

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NLD-5700

株式会社アルバック

オプトデバイス、MEMS向けNLDエッチング装置

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「ウェーハ欠陥検査装置」の関連企業一覧

レーザーテック 株式会社


マスク/レチクル欠陥検査装置で世界的に実績を残している。特にEUV光源を利用することで微細なパターンを高速に測定できるようにしたEUVマスク用…

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株式会社 清和光学製作所


　清和光学製作所は1947年（昭和22年）、創業者の鈴木清太郎による顕微鏡の製造販売から歩み始めました。 その後は光学技術をベースに、画像光…

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ASML Holding Ltd,.


EUVリソグラフィシステムを10nm以下の最先端プロセスラインに提供｡ArF液浸でも大きな実績を持つ。AMAT 、Lam Research、東京エレクトロンと製造…

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株式会社 日立ハイテク


同社は「見る・測る・分析する」というコア技術をその時々の最先端分野の課題を解決できるレベルにまで引き上げ、半導体産業に貢献してきた。現…

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株式会社 アルバック


アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提…

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KLA Corporation


半導体、PCB、ディスプレイなど関連業界のプロセス制御分野のトップ企業。革新的な光学系、センサ、高性能コンピューティングを組み合わせた検査…

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