ウェーハ欠陥検査装置の製品一覧

ウェーハ上の異物やパターン欠陥を検出し、その欠陥の位置、種類などを求める装置

明視野と暗視野双方を備えることで、異物検出と配線欠陥双方の検出が可能な検査装置。

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DI2800

株式会社日立ハイテク

2022年発売。検出時間40枚/時間と高速検査が可能

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DI4200

株式会社日立ハイテク

パターン付きウエハの異物欠陥を高感度・高速でモニタリングすることが可能な欠陥検査装置。

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GALOIS(ガロワ)

レーザーテック株式会社

GaNウェハの各種欠陥をより高速に検出し、高い解像度で欠陥の観察が可能

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SICA88

レーザーテック株式会社

コンフォーカルDIC光学系による表面検査とPL検査を1台に搭載

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Surfscan SP7xp

KLA Corporation

先端プロセスにも対応した12.5nmサイズのパーティクルが捕捉可能な欠陥検査装置

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HMI eP5

ASML Holding Ltd,.

電子ビーム式欠陥検査装置のハイエンドモデル

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ボンディングWaferズレ検査装置

株式会社清和光学製作所

【概要】 両面パターン、貼り合せウェハのパターンズレを測定・検査を行います。 表-裏面、表-表面、表-界面等非破壊で観察できます。 また、…

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RISE-300

株式会社アルバック

バッチ式自然酸化膜除去装置RISETM-300は、LSIのDeep-contact底部など困難な自然酸化膜除去に対応するバッチ式プリクリーン装置です。対象ウェー…

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ULHITETM NE-7800H

株式会社アルバック

FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAMなどに用いられる難エッチング材料(強誘電体、貴金属、磁性膜等)のエッチングに対応したマルチチャンバー型の低圧・…

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