レーザーテック株式会社の製品一覧

GALOIS(ガロワ)

レーザーテック株式会社

GaNウェハの各種欠陥をより高速に検出し、高い解像度で欠陥の観察が可能

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SICA88

レーザーテック株式会社

コンフォーカルDIC光学系による表面検査とPL検査を1台に搭載

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「ABICS E120」

レーザーテック株式会社

EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置

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「ACTIS A150」

レーザーテック株式会社

アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置

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