レーザーテック株式会社の製品一覧
GALOIS(ガロワ)
レーザーテック株式会社
GaNウェハの各種欠陥をより高速に検出し、高い解像度で欠陥の観察が可能
SICA88
コンフォーカルDIC光学系による表面検査とPL検査を1台に搭載
「ABICS E120」
EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
「ACTIS A150」
アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置
「レーザーテック株式会社」の関連企業一覧
レーザーテック 株式会社
マスク/レチクル欠陥検査装置で世界的に実績を残している。特にEUV光源を利用することで微細なパターンを高速に測定できるようにしたEUVマスク用…
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