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「ACTIS A150」

レーザーテック株式会社
最終更新日: 2021年02月18日

アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置

EUV光(波長：13.5nm)を適用したEUVパターンマスク検査装置は、2019年当社が世界ではじめて開発・販売した製品です。従来よりも高感度な検査とEUVパターンマスクに特有の欠陥を検出可能にし、EUVマスクリソグラフィの発展に大きく貢献しています。

基本情報

・EUV光源（波長13.5nm）により、従来のDUV光源に比べ、欠陥検出感度を大幅に向上
・ウェハ露光機と同波長の光源による検査（アクティニック検査）により、露光時に転写する欠陥を高い感度で検出
・ペリクル付きEUVマスクの検査が可能
・EUVマスク製造工程における検査
・ウェハファブにおけるEUVマスクの受入検査および定期的な品質確認検査

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取扱企業

レーザーテック株式会社

業種：試験・分析・測定  所在地：神奈川県 横浜市港北区新横浜 2-10-1

EUVマスク用欠陥検査装置で市場を独占

マスク/レチクル欠陥検査装置で世界的に実績を残している。特にEUV光源を利用することで微細なパターンを高速に測定できるようにしたEUVマスク用欠陥検査装置は独占的な地位を占めている（2021年）。現在は生産能力強化に力を入れている。

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