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クライオポンプの製品一覧

真空容器内に極低温面を設置し、これに容器内の気体分子を凝縮または吸着・捕捉し、排気するポンプ。機械的な可動部分が少なく、油等も使わないため、清浄で高い真空が得られる。

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