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ウェットステーションの製品一覧

レジスト除去、表面処理など、主に洗浄以外のウェットプロセスを行う装置

多彩な機能と拡張性で、時代のニーズに応える

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ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、 優れたコストパフォーマンスを実現

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FEOLからBEOLまで幅広い洗浄プロセスに対応

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