ウェットステーションの製品一覧

レジスト除去、表面処理など、主に洗浄以外のウェットプロセスを行う装置

キャリア基板受入れ洗浄装置 PWG-2501

PHT株式会社

次世代半導体向けの最先端チップレットパッケージ技術が開発されており、ガラス基板はパッケージ用キャリア基板としての適用が想定されています…

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石英向けフッ素樹脂コーティング・ライニング

日本フッソ工業株式会社

「石英基材のパーティクルや腐食の問題、解決いたします!」

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SP2100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

多彩な機能と拡張性で、時代のニーズに応える

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SU2000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、 優れたコストパフォーマンスを実現

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SU3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

FEOLからBEOLまで幅広い洗浄プロセスに対応

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