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SP2100

多彩な機能と拡張性で、時代のニーズに応える

1. メカニカル方式による安定したウェーハ搬送
 ● I-LINEのシングルパス搬送方式を採用。
 ● 豊富な実績のあるピックアンドプレース方式のメカニカル搬送方式を継承し安定したウェーハ搬送を実現します。

2. 多様な化合物ウェーハに対応
 ● シリコンはもちろん、SiCやGaN、LiTaO3など、さまざまな化合物ウェーハにも対応。
 ● ウェーハサイズも76mm?200mmまで幅広くカバーしています。

3. 処理チャンバ(MTC/DTC)
 ● マルチタスクチャンバ:高温の強酸による洗浄・エッチングにも対応
 ● ドライタスクチャンバ: ウェーハを水洗し、高速スピン乾燥。

4. メタルエッチング工程に対応
 独自開発のエンドポイントセンサー搭載(オプション)により、再現性の高いエッチングプロセスを実現。

5. GUIを刷新しユーザビリティ向上
 制御システムをリニューアルし、直感的な簡単操作でオペレーションできる専用GUIを搭載。

6. デバイス対応力をさらに高める洗浄ツール(オプション)
 洗浄ツールとして、NanosprayやSoftsprayが選択できます。さらに、表面ブラシを搭

基本情報

200mmウェーハ対応

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取扱企業

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

業種:産業用機械  所在地:京都府 京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目 天神北町1-1

半導体製造用洗浄装置のトップメーカー

SCREENセミコンダクターソリューションズは、
エッチング、フォトリソグラフィ、画像処理を技術のコアとし、半導体洗浄プロセスにおいて世界のトップメーカとなっている。最先端デバイス向けの高機能・高生産性装置から、200mm以下のさまざまなサイズ・形状の基板に対応できる製品まで、幅広い装置ラインナップをそろえている

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